刘建勇，邹爱敏，翟力军，蔡延华，孙东江，丁连同

（1.北京市电加工研究所，北京100191；2.国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心，北京100081）

反馈杆精密微细电火花加工工艺技术研究

刘建勇1，邹爱敏2，翟力军1，蔡延华1，孙东江1，丁连同1

（1.北京市电加工研究所，北京100191；2.国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心，北京100081）

为了解决电液伺服阀中关键功能部件反馈杆的加工难题，提出了对其进行精密电火花加工工艺的方案。通过分析反馈杆的实际工作状态，将其分为悬杆和球头两部分并分别进行电火花加工，制定出一次装夹同时实现反馈杆悬杆加工、反馈杆球头加工和在位检测的微细电火花加工解决方案。通过对加工工艺、加工精度和检测精度的分析，确定了R轴径向跳动、A轴端面跳动、Y轴定位精度和重复定位精度、Z轴定位精度和直线电机驱动的刚度检测平台是影响产品加工效率和加工质量的关键因素。

反馈杆；微细电火花加工；在位检测

电液伺服系统由于具有控制精度高、响应速度快、能适应恶劣工况等优点，因此在航空、航天、航海等领域获得了广泛应用。电液伺服阀是电液伺服系统中的核心部件，它能将微弱的电信号转换并放大为大功率的液压信号，对系统中的液压执行机构来说也是控制元件［1-4］。

反馈杆是影响电液伺服阀性能的关键功能元件，其装配精度要求非常高，球头部分的装配间隙一般要求在0.001～0.003 mm，因而球头的加工精度要求更高。……