山西中北大学机电工程学院　丁雪峰　吴耀金*

烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

山西中北大学机电工程学院丁雪峰吴耀金*

采用直流脉冲磁控溅射法，在烧结钕铁硼磁体表面沉积了厚度约为700nm的氧化锆、氧化铬、氧化铝、氧化钛薄膜。使用扫描电镜、纳米压痕仪分别表征了薄膜的形貌、硬度和弹性模量。采用电化学工作站测试了薄膜的动电位极化曲线，考查了其防腐蚀性能。研究结果表明在施加离子束辅助条件下薄膜更加致密，性能较好。其中氧化钛薄膜硬度最高，达23Gpa。由于氧化铝薄膜为非晶结构，在防腐蚀能力方面表现更出色，相比于基底其腐蚀电流密度降低45倍之多。

烧结钕铁硼；磁控溅射；氧化物薄膜

引言

由于烧结钕铁硼磁体的多相结构、富钕相较高的电化学活性、磁体内部存在的杂质等因素导致了耐腐蚀性能较差，限制了其进一步的应用［1，2］。所以如何提高烧结钕铁硼磁体的耐腐蚀性能成为亟待解决的问题。

目前，提高烧结钕铁硼磁体耐腐蚀性能主要有两种方法：一是添加元素法提高其自身耐腐蚀性能［3，4］，二是表面防护法［5，6］。

在工件表面采用物理气相沉积法制备N、C、O陶瓷类硬质化合物薄膜是提高工件性能的一个主要方法。冒守栋［1］采用反应磁控溅射法在烧结NdFeB表面制备多层铝/三氧化二铝膜，电化学极化测试结果表明相比于NdFeB，镀膜后其腐蚀电流密度降低近4个数量级。Harish C.Et al.［2］研究了在不同氧气流量下磁控溅射氧化铬薄膜的特征及防腐蚀性能，镀膜后基体耐腐蚀性能明显提高。……