马　平，黄训铭，邓　浩，石安华，黄　洁

(1.中国空气动力研究与发展中心超高速所，四川 绵阳　621000； 2.电子科技大学 物理电子学院，成都　610054)



亚波长二维光栅结构零级透射场的计算方法

马平1，黄训铭1，邓浩2，石安华1，黄洁1

(1.中国空气动力研究与发展中心超高速所，四川 绵阳621000； 2.电子科技大学 物理电子学院，成都610054)

基于散射度量术中测量掩膜版时对零级透射率波谱的计算需求，将需要阶梯近似分层的复杂二维光栅统一模型化为多层二维光栅，建立了多层二维光栅零级透射场计算方法；将Moharam传输矩阵法的部分解法推广到一般复杂二维光栅结构，实现对多层或者非垂直侧壁结构透射场的逐层迭代计算；对一种亚波长二维金属光栅阵列结构进行了宽谱光源入射下的透射特性仿真计算；结果表明：结合二维光栅模拟的收敛性改进算法，建立的计算方法能实现对复杂二维光栅透射率波谱的求解。

衍射；光栅；严格耦合波分析；传输矩阵法；散射度量术

本文引用格式：马平，黄训铭，邓浩，等.亚波长二维光栅结构零级透射场的计算方法[J].兵器装备工程学报，2016(8):155-159.

光栅零级衍射场的模拟计算对分析与设计光栅、光子晶体等周期结构具有重要意义[1-3]。此外，它在微电子半导体集成电路结构的分析/测试技术中也有着广泛的应用[4]。其中，光栅透射场的计算是散射度量术中测量掩膜版等透明材料的一个重要环节[5]。传统的光栅零级衍射场计算方法主要采用标量衍射模型。……