任俊华，赵鑫燚，王弘英

（中国电子科技集团公司第十三研究所，河北　石家庄　050051）



微波集成电路的老炼试验技术

任俊华，赵鑫燚，王弘英

（中国电子科技集团公司第十三研究所，河北石家庄050051）

微波集成电路 （MIC）是雷达和微波通信系统中的关键部分，其可靠性试验对于保证交付产品的质量具有重要的作用。老炼试验是可靠性筛选的关键一环，因而也是产品质量保证的重要手段。对MIC老炼试验技术进行了研究，并针对老炼夹具的设计、ESD与EMP防护和自激振荡的预防与消除提出了具体的解决措施。

微波集成电路；老炼试验；夹具；自激振荡；可靠性

0　引言

微波集成电路 （MIC：Microwave Integrated Circuit）在雷达和微波通信等系统中得到了广泛的应用。伴随着对器件质量要求的不断提高，可靠性试验的重要性逐步地加强，而老炼试验结合电参数测试是有效的可靠性筛选手段［1］。正式生产交付的MIC都应通过老炼试验，以对其可靠性进行评估。由于MIC具有静电放电敏感度等级低、易产生自激振荡等特点，因而其老炼试验工作具有一定的难度。试验夹具设计有问题、试验规范不明确或试验操作失误等都会导致产品的老炼试验失败，因此，研究MIC老炼试验的相关理论和试验过程中的影响因素，具有重要的指导价值。

1　老炼夹具的设计

老炼夹具也被称为老化板，它的设计要同时实现4个基本功能：固定试验样品、正确地施加电应力、预防自激振荡和保证散热良好。典型的MIC老炼夹具的示意图如图1所示。……