李占国　张玉婷　谢　强　李亨利　孙丽晶　宋晓峰　王丽娟,*(长春工业大学化学工程学院，长春00；长春理工大学，高功率半导体激光国家重点实验室，长春00；长春工业大学基础科学学院，长春00)

基于p-6P异质诱导生长酞菁铜薄膜的NO2传感器

李占国2张玉婷2谢强1李亨利1孙丽晶3宋晓峰1王丽娟1,*
(1长春工业大学化学工程学院，长春130012；2长春理工大学，高功率半导体激光国家重点实验室，长春130022；3长春工业大学基础科学学院，长春130012)

为实现室温下低浓度NO2气体检测，制作了p-六联苯(p-6P)诱导层的酞菁铜有机薄膜传感器。利用原子力显微镜(AFM)研究了不同沉积速率下p-6P薄膜的生长规律，慢速沉积提供足够的分子扩散时间，利于薄膜横向生长，形成高度低、尺寸大的晶畴。在p-6P薄膜上生长了酞菁铜薄膜，可以清晰看到晶畴上酞菁铜薄膜的有序排列。利用X射线衍射(XRD)仪，阐明了p-6P对酞菁铜薄膜具有很好的诱导效应。通过对比不同沉积速率p-6P薄膜诱导的酞菁铜传感器性能，发现慢速沉积诱导层的酞菁铜器件有高的响应强度和低的回复时间。异质诱导生长的酞菁铜传感器响应强度是直接生长在二氧化硅上的酞菁铜传感器的2倍，回复时间是3.2 min，对浓度为1.0×10－5的NO2气体灵敏。

p-六联苯；酞菁铜；薄膜传感器；异质诱导

[Article]

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1　引言

近年，由于环境问题受到广泛关注，二氧化氮传感器已经成为研究的焦点1－4。但在室温下低浓度NO2气体检测方面，仍然具有很大的挑战。为进一步提高传感器的性能在敏感层5、器件结构设计6、合成新材料7、掺杂改性8等方面进行了大量的研究。……