高　磊，田益明，侯　伟，闫伟青，钟高余

(复旦大学 材料科学系，上海 200433)



P3HT有机压阻器件受黏弹性的影响及其机械性能改进

高磊，田益明，侯伟，闫伟青，钟高余

(复旦大学 材料科学系，上海 200433)

制备了ITOP3HT(100nm)Al(70nm)结构的有机压阻器件，并测试了其在不同压力下的I-V特性，发现了承压后动态电学特性不同的两种类型的压阻器件，且两种压阻器件都表现出负压阻特性.现认为器件类型的分化可能是由于P3HT黏流形变的作用.为了减小黏流形变和改善薄膜弹性，提出了一种薄膜制备改进工艺：真空快速成膜工艺和退火处理，二者结合可以提高薄膜的杨氏模量，减小薄膜的黏流形变，提高其机械性能稳定性，有助于稳定压阻器件的性能，拓宽传感器的量程.

P3HT； 压阻器件； 黏流形变； 真空快速成膜； 退火； 杨氏模量

随着人工智能的迅速发展，多种特定领域的机器人正被开发出来，其中触觉传感是家用或医用机器人必不可少的.触觉传感器可以通过物理接触获得传感器和接触物体表面的相关特性，如温度、压力、硬度、材质等.对于这类“人工皮肤”触觉传感器而言，压力传感是其最基础功能之一，为适应其应用要求，此类传感器应该具有柔性、低成本和易于大面积加工制作的特点.以前使用的柔性敏感材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)，如利用金字塔状的PDMS元件[1]，测试其压力-形变-电容变化；利用掺有导体碳纳米管、碳纳米球等的PDMS[2-5]，测试其压力-电阻变化.和以上这些工作相比，利用……