吴雁，李艳峰，张而耕，赵杰

（上海应用技术学院，上海 201418）

1650年，R.Boye、R.Hooke和 I.Newton发现如果物体表面上有一层液体薄膜，就会产生彩色的花纹。后来，就不断地出现了各种制备薄膜的方法和技术。1852年W.Grove发现了辉光放电溅射沉积薄膜的方法；19世纪末，T.A.Edison用通电导线使材料蒸发，采用物理方法制备薄膜。这些研究人员对薄膜制备做出了巨大贡献，但是早期技术比较落后，得到的薄膜耐用性较差，很大程度上限制了薄膜的发展。随着科技的进步和发展，制备薄膜的真空系统和检测系统有了很大的提高，薄膜的重复性也得到了很大的改善，从此大大加速了薄膜的发展应用。自20世纪70年代以来，薄膜技术水平突飞猛进，在学术研究以及实际生产应用中都取得了很大的成果。

类金刚石薄膜在生产制备过程中会产生较大的内应力，因而与基体的结合力较差，厚度受到限制，这在很大程度上影响了薄膜的摩擦学性能。为进一步提高DLC薄膜的各项性能，各国学者对其进行了广泛、深入的研究，通过采用掺杂元素、多层薄膜技术、梯度薄膜技术及纳米复合技术等方法，改善DLC薄膜的耐磨性、厚度等综合性能。其中掺杂其他元素可以有效缓解薄膜的内应力，并对薄膜的力学、摩擦磨损及物理化学等性能也有一定的改善作用。在DLC薄膜中掺杂其他元素对其摩擦学性能有很大的影响，通过大量的研究发现，在薄膜中掺入铬元素对提高膜基结合强度有重要意义，很多学者研究了掺铬DLC薄膜的结构、力学性能、电学性能以及单一条件下的摩擦学性能等。……