杨冬磊陈向昀潘洋周力任秦毅/ 1.上海交通大学；.上海市计量测试技术研究院

高阻的测量方法

杨冬磊1，2陈向昀2潘洋2周力任2秦毅2/ 1.上海交通大学；2.上海市计量测试技术研究院

介绍了基于双电压源电桥测量高阻的方法，阐述了良好的屏蔽系统和接地对于高阻准确测量的重要性。分别用100 GΩ和1 TΩ标准高阻校准1 TΩ和10 TΩ高阻，并对测量结果进行了不确定度评定。校准结果表明，基于双电压源电桥搭建的校准装置有较高的准确度和分辨力，能满足高阻的校准要求，具有实际应用价值。

双源电桥；高阻；测量；电桥平衡；不确定度

0　引言

近几年来，各种高值电阻即高阻在物理学研究和工业生产中有着广泛应用，在物理学、化学、电工、生物医学、无线电电路、电视技术等技术领域中也有着迅速发展。高阻的测量包括了很多项目，有绝缘材料电性能参数测量、半导体材料性能参数测量、辐射和放射性电力参数测量、物质和理化分析等。所以高阻的测量已经成为生产和科研项目的一个重要手段，是电学计量和研究的重要任务，值得关注和重视。

高阻一般指直流电阻值在1 MΩ或10 MΩ及以上的电阻器，其元件广泛应用于绝缘测试类仪表、电阻表、电阻电桥、高压衰减器等需要电阻性元件和标准的仪器和装置内，以完成各种特定的功能。相对于中低阻值，超高阻标准及其测量起步较晚。伴随着各种半导体材料、光电器件、绝缘材料的开发，仪器仪表厂家推出了测量高电阻或微电流的静电计、高阻计和微电流表等。……