谢于柳，禹庆荣，许烁烁，朱奕漪

（中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111）

M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉研制

谢于柳，禹庆荣，许烁烁，朱奕漪

（中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111）

M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉用于晶体硅太阳能电池片扩散工艺，具有全自动化、高产能、减压扩散等特点，介绍该型号设备结构组成及性能，并给出了工艺结果，结果表明该设备各方面性能均已达到国内领先水平。

太阳能电池；扩散工艺；减压扩散炉

光伏产业正处于加快调整期，市场“倒逼机制”加速企业重组，提高电池产线的工艺技术和装备水平，淘汰落后产能。设备作为光伏产业的基础和支撑，一代装备支撑一代工艺技术，随着半导体技术的不断引入光伏产业，传统电池线的工艺设备得到发展［1］，扩散工艺技术有从常压向减压发展趋势，而工艺设备有由单台自动化向整线全自动化发展的趋势，更高的产能是市场经济的一个永恒的主题。扩散炉是晶体硅光伏电池生产工艺中的关键工艺设备，用来在硅衬底表面进行掺杂制备pn结结构。pn结是晶体硅太阳能电池将光能转化成电能的核心，因此扩散炉性能的优劣直接决定晶体硅太阳能电池的光电转换效率［2］。传统的扩散工艺采用常压扩散，即石英管内为常压或微正压。随着太阳能电池扩散工艺向浅结高方阻方向发展，传统的常压扩散对硅片掺杂均匀性

中国电子科技集团公司第四十……