匡君君,　姜春玉,　刘宏斌

(1.中航通飞华南飞机工业有限公司，广东 珠海　519041；　2.中航工业西安航空发动机(集团)有限公司，陕西 西安　710021)



电弧离子镀技术在航空工业上的应用

匡君君1,姜春玉1,刘宏斌2

(1.中航通飞华南飞机工业有限公司，广东 珠海519041；2.中航工业西安航空发动机(集团)有限公司，陕西 西安710021)

摘要：在航空工业中，电弧离子镀技术是一项很重要的镀膜技术，介绍了电弧离子镀的基本原理与特点，并结合国内外航空工业中航空发动机、复合材料领域的研究与发展，重点介绍了电弧离子镀技术在我国航空工业，尤其是航空发动机叶片、复合材料制件上的工程应用。

关键词:电弧离子镀技术； 基本原理； 航空工业； 应用

引　言

离子镀技术是于20世纪60年代初在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一种新型薄膜制备技术。最早由美国Mottox公开其所发明的离子镀技术。电弧离子镀是把真空阴极电弧放电原理用于蒸发源的离子镀技术，最早由苏联学者在20世纪70年代开发，后续经过苏联、美国等国的发展实现了工程化应用。虽这一技术在我国起步较晚，但经过几十年的发展，电弧离子镀技术已经广泛地在我国高速钢刀具、汽车零部件、航空航天、模具及钟表等行业大量应用[1]。

1　电弧离子镀技术

1.1电弧离子镀的基本原理

电弧离子镀的基本原理就是将金属蒸发源(靶材)作为阴极弧源，当真空室内通入氩气使室内的压强达到1～0.1Pa时，在阴极弧源上通电产生负高压，使阴极弧源与阳极壳体之间形成弧光放电，使靶材蒸发离化，靶材蒸气粒子在等离子体中被电离为正离子，正离子在负高压电场的作用下，被吸引到工件(基底)上进行沉积镀覆。……