葛锦蔓，苏俊宏，陈 磊，吕 宁

1.南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏 南京 210094 2.西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710021

一种激光损伤阈值测试新方法

葛锦蔓1,2，苏俊宏1, 2*，陈 磊1，吕 宁2

1.南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏 南京 210094 2.西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，陕西 西安 710021

随着激光器朝向大功率、高能量的方向发展，激光损伤阈值成为了衡量光学元件抗激光损伤能力的重要参数之一，因此，能否准确地测量出光学元件的激光损伤阈值成为研究的重点。而光学元件激光损伤阈值测试的关键是能否准确地判别光学元件是否发生激光损伤。为解决目前常见的损伤判别方法存在的精度低、识别时间长、适用材料范围窄、操作复杂等不足，提出了一种新的激光损伤的判别方法，即等离子体诊断法。以K9玻璃为例，搭建激光损伤阈值的测试平台，利用光纤光谱仪采集强激光辐照K9玻璃时所产生的激光等离子体闪光光谱，并对该光谱进行诊断分析，将该光谱中是否含有待测试光学元件材料中特征元素的光谱峰作为其是否收到激光损伤的标准。同时，对K9玻璃进行了激光损伤阈值的测试，并将测试结果与等离子体闪光法和显微镜法所测的激光损伤阈值进行了对比分析。实验表明，提出的等离子体诊断方法的判别精度高、速度快、测试装置结构简单，易实现在线测量，可以大大地提高光学元件激光损伤阈值测试工作的效率。……