李 青，周 波，陈 俊

（1.东旭集团有限公司，石家庄 050021；2.平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室，石家庄 050035）



基于光栅尺位移传感器的液晶玻璃基板在线厚度测量系统设计

李 青1，2，周 波1，2，陈 俊1，2

（1.东旭集团有限公司，石家庄 050021；2.平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室，石家庄 050035）

摘 要：针对原使用的激光三角法玻璃测厚系统的缺陷，分析了目前主流的各类测厚方法后，设计了一种新型的玻璃基板在线测厚系统，该系统采用一对光栅尺式位移传感器，增加外部触发采样功能，提高了采样间隔的精度，并利用SQL Server和C++ Builder开发了上位控制软件，具有数据和曲线存储显示功能。该系统经实践测试，能够在30秒内完成300个采样点的测量，测量精度达±0.002mm，能够消除玻璃基板的翘曲和晃动的影响。完全满足了目前液晶玻璃基板生产的品质保证要求。

关键词：位移传感器；玻璃基板；测厚

0　引言

液晶玻璃基板是TFT-LCD的关键上游材料。玻璃基板的厚度变化量（同一片玻璃基板在要求间距范围内最厚和最薄处的差值，也称厚薄差）为品质的一项重要指标，它决定着TFT-LCD制程中多道工序的良率，是首先被下游客户要求的。然而，随着技术的进步，玻璃基板变得越来越薄，目前市场主流的玻璃基板厚度已从0.5mm过渡到0.3mm。同时，显示分辨率的大幅提升也提高了对厚度变化量指标的要求。这都进一步加大了在线测厚系统的设计难度。

作为玻璃基板生产厂家，厚度的测量是重要的品质保证手段。实际生产中的测量要求是：适用于0.3mm～0.5mm厚度玻璃基板的测量；……