日本DAISEN公司销售《必须了解：纤维的知识424》一书。该书由Japan Textile Consulting Center（JTCC）执笔、监修，能从中学习到材料、织物、染色加工、成衣等关于纤维的知识，包括从基础到最新的动向。在日本，该书已经成为在时装、纺织产业工作的人以及学习时装、纺织产业的人的必备书。日本纤维信息从该书中选取介绍在中国纺织产业中十分重要的染色加工工序的“染色加工篇”进行翻译和刊登。

73 溅射镀膜加工

溅射镀膜加工相对于等离子处理法等化学气相沉积法（CVD：Chemical Vapor Deposition），被分类于物理气相沉积法（PVC：Physical Vapor Deposition）的干式过程，其膜形成是粒子状原料附着在试料上，是与化学反应无关的方法。

溅射镀膜加工工序：（1）把膜粘住的试料与薄膜原料（目标对象）放在近旁。（2）使整体系统成真空，针对试料与目标对象之间加电压。（3）电子及离子高速移动，离子撞目标对象。（4）高速移动的离子撞气体分子后，分子的电子被弹飞，然后成离子。（5）撞目标对象的离子把目标对象的粒子弹飞（溅射镀膜现象）。（6）被弹出的原料粒子撞、贴在试料上并形成薄膜。

溅射成膜法的特征：（1）薄膜的原料粒子能量很大，形成对试料的附着力强大的薄膜。（2）合金类及化合物等在不改变原料组成比例的条件下可以成膜。（3）用蒸镀加工法也很难进行加工的高融点原料也可以成膜。（4）薄膜厚度可以根据处理时间进行高精度的控制。（5）通过采用反应性气体，可以进行氧化物、氮化物的成膜加工。（6）大面积也可以进行均匀的成膜加工。（7）把试料放在目标对象的场所，由此可以进行刻蚀。……