章　恺，汪　炜，鲍官培，赵明才（南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016）



点杂多晶太阳能硅片电解磨削多线切割试验研究

章恺，汪炜，鲍官培，赵明才
（南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016）

摘要：提出了一种电解磨削多线切割点杂多晶太阳能硅片的新方法。电源的正极接硅锭，负极接切割线网，电解过程中硅锭发生微区钝化反应，形成硬度较小的钝化膜，使点杂多晶太阳能硅片更易切割。试验结果表明：该技术具有切割效率高、切片合格率高等优点。进一步检测发现，硅片宏观表面线痕浅、隐裂少，微观表面平整性好。该技术的应用降低了硅片加工的成本，提高了硅材料的利用率，也为太阳能电池的运用拓宽了空间。

关键词：电解磨削；多线切割；点杂多晶；太阳能硅片

多晶硅作为太阳能电池切片的主要材料，来源相对于单晶硅更广泛，成本比单晶硅更低。在多晶硅的铸锭过程中，存在石墨坩埚氮化硅涂层粘结不牢的现象。由于热对流作用会有杂质进入硅液产生硬质点，且铸锭多晶硅回料处理得不干净也会出现硬质点，硬质点的成分多以SiC为主［1］，它们会随机分布在一次铸造完成的全部硅锭内，这使得硅锭开方后在切割成硅片时，当切到点杂位置时产生跳线、切片上有明显的线痕、点杂的位置切不动而引起的断线等现象，从而导致整体硅片质量的下降，原因就是杂质区域的硬度较周围纯净区域高。

在工程实践中，将上述存在硬质点的多晶硅锭称为点杂多晶硅锭。……