魏来 钱凤

随着X射线、真空紫外光学技术和仪器的不断发展，大部分实验需要的是在一定波段范围内可选择的单色光，因此高性能的软X射线/极紫外单色仪的研制对于现代精密光学分析实验具有重要意义。国家重大科学仪器设备开发专项“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目利用前期开发的具有自主知识产权的X光单级衍射光栅，拟研制用于软X射线/极紫外波段的无谐波光栅单色仪，可以将谐波污染水平抑制在0.3%以下，从而将输出光谱的纯度提升1至2个量级。经过三年多的不懈努力，目前项目在整机集成和关键部件研发方面取得了突破性进展。

一、立项背景

以高精密等离子体诊断、新材料超精细分析、高性能同步辐射测量、先进空天探测等为代表的前沿科学发展，对先进的软X射线/极紫外测量技术提出了更新、更高的要求，特别是对核心技术的自主开发和持续创新能力提出了迫切的需要。其中软X射线/极紫外光栅单色仪是以上前沿科学发展所必需的重要高端科学分析仪器，其性能水平是影响相关领域科学探索和技术创新能力的重要因素之一。

软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪是指利用光栅衍射原理从复色软X射线/极紫外光源中分解获取单色光的仪器设备，其应用十分广泛。目前国际上现有的软X射线/极紫外光栅单色仪均受高次谐波污染的限制，难以支撑超高精密软X射线/极紫外光谱分析技术的发展。……