万　骏，陈　磊，朱文华，李金鹏

( 南京理工大学 电子工程与光电技术学院，南京 210094 )



近红外反射式错位点衍射干涉仪

万骏，陈磊，朱文华，李金鹏

( 南京理工大学 电子工程与光电技术学院，南京 210094 )

摘要：为瞬态测量近红外激光波前，提出了一种斜入射结构的反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上，相干光波分别在平板前后表面反射产生错位，从而在传统点衍射干涉图中引入空间线性载频。采用傅里叶变换的方法处理单幅干涉图恢复待测波前，实现了近红外波前的自动化检测。实验测量了F/10、工作波长为1 313 nm的近红外激光波前，测量结果与Hartmann波前传感器一致。研究了用于针孔快速对准的成像对准技术。因此，采用该方案能够实现近红外波前的瞬态测量。

关键词：光学测量；点衍射干涉仪；波前检测；瞬态；空间线性载频

0　引言

波前测试技术在天文光学、视光学、惯性约束核聚变(ICF)等领域都得到了广泛的运用[1]。越来越多的近红外光学系统和元件被使用在这些高新技术领域。目前的波前测试方法主要有夏克-哈特曼法[2]、剪切干涉法[3]、点衍射干涉法[4]这几大类。用夏克-哈特曼法检测波前，待测波前采样点受微透镜阵列工艺的制约，恢复波前的空间分辨率较低。剪切干涉法不需要参考波前，通过原始波面的横向错位或径向剪切来形成干涉，波前重构算法比较复杂。点衍射法作为一种共光路的干涉系统，具有抗振，结构简单等优点，但其移相困难，一般只能通过处理单幅干涉图以获取波前分布，算法的精度与自动化程度不高。……