张　满，邓启凌，李志炜，庞　辉，史立芳，曹阿秀，胡　松

( 中国科学院光电技术研究所，成都 610209 )



基于巯基-烯材料的亚波长光栅制备方法研究

张满，邓启凌，李志炜，庞辉，史立芳，曹阿秀，胡松

( 中国科学院光电技术研究所，成都 610209 )

摘要：针对亚波长光栅结构和特性要求，本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板，以巯基-烯材料作为压印胶，利用紫外光固化软印刷技术制备以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导层的巯基-烯材料亚波长光栅。本文对巯基-烯亚波长光栅三层结构进行了模拟仿真，并利用该方法制备了周期为300 nm的巯基-烯亚波长光栅，仿真和实验结果表明该光栅可以在特定角度反射波长为448 nm～482 nm的蓝光，实验现象与仿真结果一致，表明提出的方法可以有效的制备聚合物材料亚波长光栅。同时该方法操作简单、成本低、易于大批量复制，在微纳米结构制备方面具有广阔的应用前景。关键词：亚波长光栅；巯基-烯材料；PDMS；紫外光固化软印刷技术；PMMA

0　引言

亚波长光栅是一种光栅周期小于工作波长的光栅，是现代光学技术中的一种重要光学结构。当亚波长光栅的结构参数满足一定条件时会在特定波长和入射角处发生共振，此时的光栅叫做共振亚波长光栅。理论研究分析共振亚波长光栅具有将入射光耦合到波导层中形成峰值效率几乎为100%的独特共振性[1]，广泛应用于制导模式的共振滤波器、波纹状介质波导、波纹状波导等器件[2-4]。……