高 亢，陈希军，任顺清

(哈尔滨工业大学 空间控制与惯性技术研究中心，哈尔滨 150080)

MEMS加速度计组合在分度头上的标定方法

高 亢，陈希军，任顺清

(哈尔滨工业大学 空间控制与惯性技术研究中心，哈尔滨 150080)

提出了一种在分度头上标定MEMS加速度计组合的测试方法，该方法可以标定出加速度计组合的刻度系数误差、加速度计零偏、三轴不正交度误差、安装误差角，同时可以分离出分度头转位机构角位置误差。首先通过建立一系列坐标系，推导了重力加速度在加速度计敏感轴的分量表达式。然后采用谐波分析法给出了误差标定方程，利用最小二乘法和Kalman滤波器进行误差参数的估计，并对估计结果进行了对比分析。最后通过三次独立实验标定结果的重复性和残差验证了该方法的正确性。

MIMU组合标定；MEMS加速度计；光栅分度头；谐波分析法； Kalman滤波

0 引言

加速度误差系数的辨识多采用多位置法，根据不同的加速度计采用不同的位置取向，例如绕性加速度计采用的12点翻滚测试法，MEMS加速度计测试常采用六位置测试法。文献[1]中介绍了利用高精度三轴转台标定MEMS加速度计组合的六位置测试法，标定出了加速度计的零偏、刻度因子和安装误差。文献[2]提出利用普通气泡水平仪和六面体盒状物实现加速度计组合的六位置现场简易标定方法，但是该方法只能标定低精度的加速度计，文中标定的加速度计分辨率只有3.9mg。

在现有的文献中，有利用光栅分度头完成加速度计单表在重力场中标定的研究。……