于伟华，王 彬，田 新，3，张春伟（.江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州 22004；2.江苏协鑫特种材料科技有限公司，江苏徐州 22004；3.江苏鑫华半导体材料科技有限公司，江苏徐州 22004）

多晶硅还原炉倒棒原因分析

于伟华1，2，王 彬1，田 新1，2，3，张春伟1，2
（1.江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州 221004；2.江苏协鑫特种材料科技有限公司，江苏徐州 221004；3.江苏鑫华半导体材料科技有限公司，江苏徐州 221004）

分析了多晶硅还原炉倒棒的危害，并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究，最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施，为预防多晶硅还原炉倒棒提供了一些参考。

多晶硅；还原炉；倒棒；原因分析

硅是太阳能光伏产业中应用最广泛的一种半导体材料，随着我国新能源计划的提出，多晶硅的需求与日俱增。目前国内主流的多晶硅生产包括还原炉还原法、硅烷法、流化床法、冶金法等，在这些多晶硅生产方式中，应用最广泛产量最高的就是还原炉还原法。多晶硅还原炉是还原炉还原法生产多晶硅的关键设备，还原炉主要由混合气体进气管、混合尾气出气管、电极、炉体冷却水进水管、炉体冷却谁出水管、视孔等结构组成。当多晶硅还原炉内开始还原反应后，一旦出现硅心倾斜倒塌，将会直接影响多晶硅产量，并给设备带来损伤，加大工人的劳动量。因此，在应用多晶硅还原炉生产多晶硅过程中，对倒棒现象的预防和处理，则成为提高多晶硅生产效率的关键点之一。

1　多晶硅还原炉倒棒的危害

1.1硅棒沉积前期倒棒的危害