刘国霞　崔慧敏　张海林

摘要：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司自主研发的立式合成炉适用于碳纳米材料及其他合成材料的制备，具有产量高、稳定性好、操作简单等优点。文章介绍了合成炉的组成部分以及主要组成部分在设计中存在的难点和解决方法。

关键词：立式合成炉；纳米材料；加热器；工艺腔室；气体控制系统；收料装置 文献标识码：A

中图分类号：TK229 文章编号：1009-2374（2016）08-0024-02 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2016.08.013

随着科学技术和材料应用的发展，人们对材料的要求越来越高。而纳米材料作为21世纪最有前途的材料，被广泛地应用在化工、生物医学、环境、食品等领域。根据生产工艺腔室大、工艺温度高、温度均匀性高、纳米材料轻收集困难等特点设计的立式合成炉是一种新型纳米材料生产设备，主要包括加热器、工艺腔室、气体控制系统、收料装置、尾气处理、真空系统、水路系统、电器控制等部分。青岛赛瑞达电子装备股份有限公司生产的立式合成炉设备整体外形图如图1所示，现将主要部分介绍如下。

加热器是设备的核心部分。此台设备的工艺温度要求高，所以采用上、中、下三段加热。如果工艺温度要求不高，即没有温区的要求，完全可以采用一个加热器进行加热，这样加热器就可以有2～3个电极。电极的引出可以从炉子顶部引出，这样便于石墨电极和紫铜电极的安装，加热器的结构和安装就会相对简单。因为客户的工艺温度要求高，所以在加热器的设计上就存在一定的难度。……