杭良毅,徐均琪,宋岩峰,苏俊宏,基玛·格拉索夫

(1.西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，西安 710021；2：西安现代控制技术研究所，西安 710065；3.白俄罗斯国立信息与无线电电子大学，明斯克 220013)

多层介质滤光片的制备及激光损伤特性

杭良毅1,徐均琪1,宋岩峰2,苏俊宏1,基玛·格拉索夫3

(1.西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，西安 710021；2：西安现代控制技术研究所，西安 710065；3.白俄罗斯国立信息与无线电电子大学，明斯克 220013)

为了获得具有较高激光损伤阈值的短波通截止滤光片，使用TFCalc膜系软件设计了多层膜的光谱曲线和电场强度曲线，采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了LaTiO3/SiO2组合膜堆的滤光片，通过激光辐照预处理工艺尝试提高多层膜的激光损伤阈值(LIDT)，测试并讨论了激光预处理对滤光片LIDT的影响.研究结果表明：通过分析滤光片的电场强度，得到优化后的膜系是G|(HL)10H0.5L|A，制备后滤光片的LIDT为11.7 J·cm-2(1 064 nm，10 ns)；当辐照激光能量为滤光片LIDT的80%时，辐照后滤光片的LIDT为14.3 J·cm-2(1 064 nm，10 ns)，较原值提高22.2%；当辐照能量为80%，采用不同辐照次数实验时，发现辐照3次后滤光片的LIDT为16.1 J·cm-2(1 064 nm，10 ns)，较原值提高了37.6%.激光预处理后滤光片的表面粗糙度都有下降的趋势.

短波通滤光片；LaTiO3/SiO2；激光损伤阈值；激光预处理

短波通滤光片可以实现一部分光透过，一部分光截止的光学特性，被广泛应用于各式各样的光学系统中.存在于激光系统中的多层介质滤光片，由于其较差的抗激光损伤能力，已成为限制高能激光发展的……