第一项由我国主导制定的微机电系统（MEMS）国际标准IEC 62047-25：2016正式发布

全国微机电技术标准化技术委员会

2016年8月25日，IEC正式发布了由我国主导制定的第一项微机电系统（MEMS）领域国际标准，标志着我国MEMS领域国际标准化工作实现了零的突破。

1　微机电系统及加工技术

MEMS是指关键（部件）特征尺寸在亚微米至亚毫米之间，能独立完成机电光等功能的系统（GB/ T 26111），也可称作微电子机械系统、微系统、微机械等。因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点，使得MEMS在民用和军工方面都显现出了巨大的应用潜力，已经被广泛应用在航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等多个领域，与我们的日常生活息息相关。比如手机中的陀螺仪、喷墨打印机喷头、汽车安全气囊传感器、导弹的惯性器件等等，都离不开MEMS。MEMS的加工技术主要分为硅工艺和非硅工艺两种，前者在集成电路的基础上得到飞速发展，已经成为MEMS加工的主流技术。

2　标准制定背景及意义

长期以来，因美国、日本等工业发达国家在集成电路领域形成的深厚积淀，导致MEMS技术和国际标准一直被其把持，已发布的26项MEMS国际标准中，没有一项由我国制定，我国完全处于跟踪研究状态。近年来，国家对MEMS技术的支持力度不断增加，《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》《国家集成电路产业发展推进纲要》等国家政策规划都明确提出要发展MEMS技术，对我国MEMS技术的发展起到了极大促进作用，使得我国在典型工艺、测试方法方面取得多项技术突破，部分技术已经逐渐与世界先进水平形成“并跑”甚至“领跑”。……