赖 敏

(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072)

高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备

赖 敏

(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072)

发展高端激光制造技术与装备可促进我国传统制造业转型升级。由天津大学牵头的国家重点研发项目“高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备”针对性能优良的大尺寸、高熔点倍半氧化物晶体生长工艺与集成装备，及硬脆激光晶体的高效低损伤超精密磨削、抛光工艺与装备等研发难题，开展晶体生长、加工工艺和装备的重大共性关键技术研究。项目预期发展具有自主知识产权、国际先进水平的大尺寸、高熔点倍半氧化物晶体的生长工艺及装备、加工工艺及装备。研制出的高精度大径厚比倍半氧化物激光晶体元件为高功率先进激光器提供核心元件，将会在增材制造、激光制造、信息产业等国家需求的重点领域开拓战略性的新兴产业。

激光制造 倍半氧化物晶体 高熔点 晶体生长 硬脆材料 超精密加工 表面完整性 高端装备

0 引 言

由天津市科学技术委员会推荐，天津大学作为项目牵头单位，联合山东大学、同济大学、哈尔滨工业大学、大连理工大学等10家相关高校、研究院和企业联合申报的“高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备”项目获得科技部国家重点研发计划项目立项。

激光器作为激光制造及相关领域发展的核心器件，越来越广泛地应用于制造、精密测量、科学探测、通讯与信息处理、医疗等各领域。……