高荣惠，赵 龙，崔建利，张斌珍

（中北大学 电子测试技术重点实验室，山西 太原030051）

0 引 言

随着射频（RF）、微波技术的迅速发展，国际上诸多知名科研机构和高校都将RF MEMS视为重点研究方向.RF MEMS技术中多采用的是平面电路技术，其中的射频、微波信号传输及器件互联多采用微带、共面波导、带状线等平面传输线［1］，当集成度较高时，这些传输、互联技术就暴露出诸多弊端：插入损耗与线间耦合较大、功率容量小、色散严重等，很难进一步实现射频和微波电子系统的小型化与微型化，严重限制了其在微型射频／微波电子系统中的应用.

同轴传输线结构紧凑、低损耗和低色散的特性使得其在射频微波无源电路设计领域迅猛发展，微机电系统加工技术的研究进展也为矩形同轴线的应用提供了充足的机会［2-3］.美国国防部先进研究项目局一直在大力资助企业和高校进行三维射频和微波集成通用平台的搭建，互联技术主要采用的就是同轴传输线，目前他们已实现了部分基于同轴传输线的射频微波器件在三维片上的集成.Novotronics公司所加工的四通道MMIC平台和天线馈电网络中微波器件的设计与互联也均采用的是同轴传输线［4］.

为了提高通信系统的传输能量，减小系统尺寸，微波器件的尺寸变得越来越小，作为信号传输的重要途径，射频系统也逐渐向微型化转变.微型射频同轴线可以实现微集成射频器件的互联，亦可实现多层射频集成模块的互联，其……