程 静（广东成德电路股份有限公司，广东 佛山 528300）

曝光机里的光路计算和绝对平行光的设计

程 静
（广东成德电路股份有限公司，广东 佛山 528300）

文章分两部分，第一部分是在牛顿光学的基础上导出了曝光光路的平行度、曝光能量的计算公式，这些公式完全是在牛顿几何光学的框架下推导出来，没有任何假定的成分，完全适用于曝光光路的计算。第二部分则是绝对平行光的光路的设计，它一改传统PCB曝光光路设计理念，巧妙地用点光源-平面-蝶面光路图，这样不仅得到了绝对平行光，而且是比传统设计方案强得多的光。

平行度；曝光能量；蝶面；蝴蝶积分

众所周知，曝光光源提供了图形转移所需的全部能量，而这种能量分布高低及光在行进过程中的耗散量或多或少地影响到图形转移效果，因此很有必要对曝光光路能量分布、耗散及平行度的计算进行研究了。通用曝光反射罩是由两端采用两个半旋转抛物面，中间采用拉伸中空抛物面粘和而成的（如图1所示）。这样就可以得到旋转抛物面的正截面方程为：

截口中心到截口边的距离为NA，其大小为：

图1 曝光机里的曝光光路图

旋转抛物面截口中心到受照PCB板P点垂直距离为s，由图1可知s＝NP＝AC，角盈γ＝∠CAB，这样就有：

又因为光管是置于旋转抛物面的截面焦点O上的，这样就有：

同理有：

设一半耗散角为θ1＝∠AOB，由图1可得：

设另一半耗散角为为θ2＝∠AOP，由图1可得：

于是有半耗散角θ2对应的平行度γ1计算公式为：

同理有另一半耗散……