张娜，李锋，张艳春

（国电内蒙古晶阳能源有限公司，内蒙古鄂尔多斯010321）

多晶硅副产物在生产系统内的循环利用

张娜，李锋，张艳春

（国电内蒙古晶阳能源有限公司，内蒙古鄂尔多斯010321）

论述了多晶硅的生产工艺，主要包括西门子法、改良西门子法、硅烷法、流化床法。其中改良西门子法生产成本低、污染小而成为目前生产多晶硅的主要工艺。论述了改良西门子法生产多晶硅工艺中副产物四氯化硅和二氯二氢硅的来源与危害。重点阐述了四氯化硅的氢化反应和二氯二氢硅的反歧化反应。评价了四氯化硅的冷氢化工艺和二氯二氢硅的反歧化工艺在多晶硅生产中的实用价值。

多晶硅；四氯化硅；冷氢化；二氯二氢硅；反歧化

随着全球信息产业、新能源开发以及光伏产业的迅猛发展，各国对多晶硅的生产给予高度关注。多晶硅是熔融状态下的单质硅在过冷条件下凝固，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，晶核长成晶面取向不同的晶粒，这些晶粒结合起来结晶形成多晶硅。多晶硅与单晶硅在物理性质方面有些差异。多晶硅作为半导体、太阳能电池、高纯硅片生产、电子信息产业和光伏产业的主要原料得到广泛应用。多晶硅在电子信息及光伏发电等产业中起着不可替代的作用。

1　多晶硅生产工艺

传统的多晶硅生产工艺有西门子法、改良西门子法、硅烷法、流化床法。专门生产太阳能级多晶硅的新工艺有冶金法、熔融析出法、高纯度二氧化硅直接制取、还原或热分解工艺、无氯工艺技术、Al-Si溶体低温制备太阳能级硅、熔盐电解法等。……