于祥苓，王安帮

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

老炼对集成电路静态电源电流的影响

于祥苓，王安帮

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常CMOS器件和有工艺缺陷的CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。

老炼；可靠性筛选试验；静态电源电流；早期失效；加工工艺；可靠性

1 引 言

老炼是IC生产中常用来剔除早期失效产品，提高系统可靠性的方法。这些产品本身具有固有的缺陷或者其缺陷产生于制造工艺的控制不当，这些缺陷会造成与时间和应力有关的失效。如不进行老炼，这些有缺陷的器件在使用条件下会出现初期致命失效或早期寿命失效。为了保证提交到用户手中的产品质量，生产厂商会在产品包装出厂前对元器件进行老炼，即在一定时间内对元器件施加一定的应力，如电流、电压、温度等，且通常高于其正常使用应力，从而剔除一些有缺陷的产品，保证出厂产品的质量。……