林新伟，周梦莲，程德艳

（西北核技术研究所，西安710024；激光与物质相互作用国家重点实验室，西安710024）

滤光片表面激光损伤阈值测试的样本量分析

林新伟，周梦莲，程德艳

（西北核技术研究所，西安710024；激光与物质相互作用国家重点实验室，西安710024）

利用CO2激光对BP550型滤光片开展大样本量的表面损伤实验研究，通过抽样统计的方法分析不同实验样本量对应的几种定义的滤光片激光损伤阈值。结果表明：BP550型滤光片在0～100%的损伤概率与功率密度满足线性关系；在准确性及置信度相同时，与通过线性拟合法得到50%概率损伤阈值所需的样本量相比，通过线性拟合法得到0概率和100%概率损伤阈值所需的样本量更大，而通过最大不损伤功率密度与最小损伤功率密度平均值的方法获得50%概率损伤阈值所需的样本量更小。

滤光片；激光辐照效应；损伤阈值；损伤概率

在光学元件中，激光损伤阈值是一个重要的参考物理量。关于光学元件激光损伤的研究工作已相当广泛，代表性的工作涉及材料激光损伤阈值的光斑效应、重复频率激光作用累积效应等机理研究［13］，如光学元件或材料激光损伤阈值的测量或提高［45］、光学元件产生损伤的判别方法［68］、损伤的定量评定［9］、损伤阈值概率数据拟合方法［10 11］等。也有文献对光学元件的激光损伤进行了综合性论述［12］。国际标准化组织从20世纪90年代初就开始尝试建立光学表面激光损伤阈值测试方法标准［13 14］，并最终在2000年颁布了正式版标准［15］，对光学元件激光损伤阈值测量相关的原则、仪器、样品、流程、数据评价等进行了规范。……