曹旭辉（云南金吉安建设咨询监理有限公司，云南　昆明　650051）

浅谈多晶硅项目设备管道的清洗方法

曹旭辉
（云南金吉安建设咨询监理有限公司，云南昆明650051）

摘要：结合某3 000 t／a多晶硅改良西门子三氯氢硅还原生产法项目，说明设备管道高清洁度要求的重要性，阐述了在安装施工过程中对其不同材质、类型、质量要求的设备管道进行清洗的喷淋法、循环法、浸泡法、擦拭法等相应的清洗工艺方法、关键工序、适用对象及质量验收标准，从而保证了此多晶硅项目的顺利投产，产品质量也达到了设计要求。

关键词：多晶硅项目；设备管道；管道清洗

0　引　言

多晶硅生产对设备管道和周围环境的清洁度要求非常高，系统的油脂、水分、氯离子、氧化物、灰尘、杂物等杂质对产品质量影响很大，易产生安全隐患并引发安全事故。为保证项目顺利投产，达到产品质量设计要求，必须在安装施工过程中对设备管道进行严格清洗，根据不同设备管道材质、类型、质量要求需要选择不同的清洗工艺方法。

1　项目概况

某3 000 t／a多晶硅项目采用目前世界先进的改良西门子生产工艺三氯氢硅还原法，基本反应是：SiHCl3＋H2＝Si＋3HCl，在1 050～1 150℃时，三氯氢硅与氢气发生氢还原反应。具体工艺流程简图见图1。

工程特点：

（1）设备多，有上千台。大多数为静设备，有容器、塔器、换热器、还原炉、氢化炉等。动设备主要是泵类，压缩机等传动设备。

（2）管线多。排列密集，纵横交错，管件、阀门型号、规格复杂，管线材质多，有无缝管、直缝焊管、钢管、低合金管、不锈钢管、衬胶钢管和衬聚四氟乙烯钢管。……