郝正宏 王徐坚 李俊毅 汤俐敏

(上海洛丁森工业自动化设备有限公司，上海 201109)

高稳定性单晶硅压力(差压)变送器的实现

郝正宏 王徐坚 李俊毅 汤俐敏

(上海洛丁森工业自动化设备有限公司，上海 201109)

当前高稳定性压力(差压)变送器在自动化领域的应用越来越重要，如何发展具备中国自主知识产权的高稳定性变送器是中国本土变送器制造厂商面临的一个非常严峻的问题。从超稳型单晶硅原理芯片的选择、超稳型单晶硅硅片的无应力封装、回程误差的消除、静压误差的减弱和补偿、仪表量程比的拓宽、接液面的特殊处理以及超高温测量等诸多技术方面,详细说明了提升高稳定性压力(差压)变送器全性能、准确度等级和可靠性的技术和措施,弥补了国外高端压力(差压)变送器对中国市场的技术垄断。

单晶硅压力传感器 过载保护 回程误差 静压补偿 超高温远传

Super-high temperature remote transmission

0 引言

压力(差压)变送器作为一种高精密的测量仪器，在自动化领域的应用非常普遍且意义重大。压力(差压)变送器在大多数的重要工业领域都得到广泛的应用，如火力发电、核电、石油冶炼、化工、钢铁、造纸、制药、食品、水泥制造等领域。然而在这些广泛的应用领域中，由中国人自己研发和制造的中高端变送器非常匮乏，几乎完全被美国、日本、德国、瑞士等工业发达国家的产品所垄断。这对当前飞速发展的中国国民经济来说是一个巨大的安全隐患。所以对于研发和规模化生产具有中国自主知识产权的高稳定性压力(差压)变送器显得越来越重要。……