卢.，陈.，郑佳文

（武汉理工大学 机电工程学院，湖北 武汉.30070）

压电式双驱微进给系统设计及定位精度研究

卢.，陈.，郑佳文

（武汉理工大学 机电工程学院，湖北 武汉.30070）

摘.：针对压电陶瓷存在的迟滞特性，为提高微动台定位精度，提出一种基于双驱控制技术的双压电驱动的微进给系统。系统采用运动控制器作为控制部分，双压电陶瓷以推拉形式同时驱动微动台，配置多个位移传感器构成闭环控制系统。为验证系统定位精度，针对压电陶瓷的迟滞特性，采用Preisach-Mayergoyz模型分别进行系统开/闭环控制定位误差对比实验。实验结果表明，相比于单个压电陶瓷驱动，双压电陶瓷同时驱动的情况下系统最大定位误差更小，闭环状态下双压电驱动微动台系统定位精度更高，最大定位误差明显减小，系统稳定性更高。

双驱控制；Preisach模型；压电驱动；微进给系统

1.言

超精密加工技术是机械制造业中最重要的部分。近年来，随着科技的飞速发展，超精密加工技术进入到纳米时代。如何使刀具实现纳米级的微量进给成为纳米级加工的关键技术之一[1]。在超精密加工领域，随着制造技术的发展，实现超精密加工，除需要配备超精密机床、高精度测量设备及锋利的金刚石刀具外，采用高精度的微进给机构，在很大程度上提高了超精密加工所能达到的精度水平[2]。传统的电机-丝杠驱动模式会产生较大的振动与冲击，并且整体结构较大，易产生误差，进而影响整个系统的定位精度。……