赵朝军，刘金秋，智春艳，邱文旭，韩 娟

（西安工业大学 北方信息工程学院，西安710200）

石墨烯［1］是一种二维碳原子层材料，由六边形晶格组成，每个原胞中有两个碳原子，是所有其他维度的石墨材料的基本构建模块．力学性质方面，石墨烯强度非常高，其厚度仅为0．335nm，相当于一根头发的20万分之一，但其抗拉强度极限为42 N·m-1，杨氏模量与金刚石相当，大约为1 100GPa．电学性质方面，石墨烯的载流子迁移率［2］高达2×105cm2·（V·s）-1，约是Si的100倍，电流密度为2×108A·cm-2，大约是Cu的100倍．石墨烯还具有量子隧穿效应和霍尔效应．热学性质中，其热导率达到3×103～5×103W·（mK）-1，与碳纳米管（Carbon Nanotube，CNT）相当．光学性质中，其具有高透光率，透光率达到97．7%．化学性质中，由于其化学稳定性高，表面呈惰性状态，故与其他物质之间的作用十分微弱，能较好的保持自身的优异性能．石墨烯应用十分广泛，可以作新型锂电池负极材料和超级电容［3］的电极材料，制作电子显示器件［4］以及半导体行业等．

目前制备石墨烯的方法较多，常见的主要有微机械剥离法、气相沉积法、外延生长法和氧化石墨还原法．此外，还有碳纳米管轴向切割法及取向附生法．外延生长法中，有一种工艺为热解SiC［5-6］，此过程中通入一定量的Cl基气体，有助于SiC表面Si原子的去除并可降低生长温度，最终制得一定量的石墨烯．最终制备的样品中，有可能会产生掺Cl的石墨烯．文献［7］研究了B掺杂会提高石墨烯体系的导电性能；文献［8］探究了Ge在石墨烯上的吸附改变了石墨烯中C原子的电子旋性质；文……