闫丽荣，高爱华，杨 捷

（西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室／光电工程学院，西安710021）

光学谐振腔是激光陀螺和激光器的核心组成部分，其损耗的大小直接关系到陀螺和激光器的性能和精度．谐振腔的损耗主要包括谐振腔衍射损耗及膜片损耗．精确测量谐振腔损耗的大小是指导激光陀螺、激光器生产的重要手段，对提高激光陀螺、激光器的性能和精度具有重要的指导意义．

目前光学谐振腔损耗可以用谐振法和时间衰减法来进行测量．在实际损耗测量装置的研制过程中发现，影响损耗测量精度的因素众多，除了优化装置各部分的硬件以外，在实际测量中利用软件对测量的数据进行处理可以提高在现有硬件设备条件下测量的准确性，从而减小测量误差．近年来众多研究单位相继加入损耗检测的研究中，文献［1］最早进行了谐振腔超低损耗测量方面的研究；文献［1-2］提出了小抖动稳频技术，该技术是通过调制激光光强使得激光频率被锁定在与谐振腔谐振的某个频率上，采用锁相方式获得光强的相位和幅值随调制信号频率的变化曲线，拟合获得衰荡时间，进而确定谐振腔损耗；文献［1-2］相继进行了吸收光谱和高反射率方面的研究，获得的反射率测量精度可达10-5量级；文献［3］设计了一套实时测量谐振腔损耗系统，完成了系统功能仿真．但对于提高测量精度都只是原理及优化硬件方面的研究，还没有利……