景 伟，郭领军，马春红，李贺军

(西北工业大学凝固技术国家重点实验室，西安 710072)

MOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状①

景 伟，郭领军，马春红，李贺军

(西北工业大学凝固技术国家重点实验室，西安 710072)

综述了MOCVD技术制备抗氧化铱涂层的基本原理和特点;MOCVD的制备工艺，如MO源、基体种类、沉积温度、沉积气氛等对铱涂层结构的影响;提出了铱涂层因热膨胀系数不匹配、存在杂质和微裂纹等氧化活性点失效的3种失效机制;并通过对比国内外MOCVD铱涂层的制备技术及性能特点，指出了国内MOCVD制备铱涂层的过程中存在的成本昂贵、沉积理论不完善、结合力差等关键问题及可能的解决方案。

MOCVD;铱;失效机制;抗氧化

0 引言

随着航空航天工业的发展，性能优异的高温结构材料愈来愈受到人们的关注。目前，常用的高温结构材料有高温合金、高温陶瓷和炭/炭复合材料［1］。高温铌合金的极限使用温度约在1 400℃，已很难满足飞行器姿态控制所用发动机的需要;通过增加合金中W、Mo、Re等难熔组元的含量来提高高温合金的高温强度，无形中降低了合金的抗氧化和抗热蚀性能［2］。超高温陶瓷由于熔点高、高温强度优异，已成为未来高温结构材料的主角;但是，由于陶瓷材料本身的脆性，提高断裂韧性和抗热震性能仍是研究热点［3］。炭/炭复合材料具有高的比强度、比模量，良好的抗热震性能及强度随温度升高不降反升的特性，是理想的发动机燃烧室、尾喷管和火箭喉衬等高温结构材料;但炭/炭复合材料在450℃有氧环境下开始氧化，且随着氧化加剧，其强度损失数倍增加［4-5］。……