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(1.陕西国防工业职业技术学院,陕西 西安 710300；2.中国兵器工业集团第205研究所,陕西 西安 710065)

丝杠螺旋线误差动态测量方法的研究

王青1，朱凌健1，张福财2

(1.陕西国防工业职业技术学院,陕西 西安 710300；2.中国兵器工业集团第205研究所,陕西 西安 710065)

丝杠是工业生产中重要的传动部件，其自身精度往往对整个系统的精度起着决定作用。因此，丝杠螺旋线误差的测量有着重要实际价值。针对目前丝杠螺旋线误差检测系统的不足，对以往的测量方法进行了改近，设计了以双频激光干涉仪作为长度测量的标准，以圆光栅作为转动角度的测量的标准，数据处理上利用可编程逻辑器件(CPLD)为核心电路的计算机测量方案。在此基础上，进行了样机实验研究和试运行,运行结果证明，测量系统能够实现2级以上丝杠螺旋线误差的动态测量，具有测量效率较高，能够对环境造成的偏差进行补偿的特点。

丝杠;精度;双频激光干涉仪;动态测量

0 引言

丝杠在机械传动中应用很广，是重要的机械部件，特别是高精密的丝杠，不仅是精密的传动元件而且常用作精密的测量元件，许多精密机床，如螺纹磨床、坐标镗床等，其传动精度、定位精度、加工精度和一些仪器的测量精度都与精密丝杠的精度有着直接关系。因此，高精度丝杠动态测量装置显得尤其重要。目前，常用的丝杠螺旋线误差测量方法均属于手动的静态测量方法，存在测量效率较低、自动化水平较低、肉眼视差不确定等问题。……