肖 勇，戴跃洪，张 睿，陈 易

(电子科技大学 机械电子工程学院，成都 611731)

不确定微机电混沌系统的反演自适应控制

肖 勇，戴跃洪，张 睿，陈 易

(电子科技大学 机械电子工程学院，成都 611731)

简单分析了静电力驱动微机电谐振器的混沌特性，给出了系统位移随电压变化的分岔图及典型的混沌吸引子。针对含有不确定的微机电混沌系统，结合反演与自适应控制技术，提出了一种自适应反演混沌控制策略。该策略通过自适应方法在线估计系统中的不确定性，并通过反演控制来快速实现系统的镇定。最后，通过仿真实例验证了所提出的策略的有效性。

微机电系统；混沌；自适应反演控制；不确定性

0 引言

微机电系统是由弹簧、电阻、电容、电感及阻尼器等非线性元器件构成，是一种复杂的非线性系统[1-3]。已经有许多有关学者进行了有关微机电系统的非线性动态行为研究，诸如微机电系统频域响应曲线的弯曲度及跃变现象等[4]。混沌是非线性系统的一种特殊现象，它同样存在于微机电系统中[5]。文献[6]通过建模的方法来预测微机电系统中的混沌行为。文献[7]分析了响应共振条件下接近特定谐振分界线的微机电谐振系统的混沌运动。文献[9]通过Mathieu方程来对微机电振荡器进行建模，并对其非线性混沌特性进行了数字仿真与实验研究。文献[10]发现在开环和闭环的微机电悬臂梁系统中同样存在混沌现象。混沌现象表现为对初始条件的敏感性和不可预测性，在许多实际场合是有害的，必须得到抑制。……