张 凯，贺锋涛，王晓琳，屈 飞，牛志鹏，彭 飞

(西安邮电大学 电子工程学院，陕西 西安 710121)

引言

样品表面甚至内部的细微结构的显微成像,一直是许多科学研究和工业生产的重要组成部分。激光光源的出现，促进了激光成像技术的飞速发展,由于激光具有良好的方向性、单色性、高亮度和强相干性使得激光成像与传统光源成像相比具有高对比度、高分率的特点，可满足高精度测量的需求[1]。但激光的高度相干性是产生散斑，进而导致采集图像亮度不均与清晰度下降的原因。想要抑制散斑就需要降低激光的相干性。自从1960年激光诞生，散斑就出现了，前人对激光散斑做了众多的研究。总结起来目前大概有三种降低激光相干性的方法。分别是：降低时间相干性、降低空间相干性、产生动态散斑图样[2]。采用的方式或者是采用特殊的相位掩膜调至光束，或者是两位扫描复位转镜，或者是抖动屏幕等。以上方法均能够对散斑做到一定程度的有效控制，但成本过高，装置复杂且巨大，难以满足大众的需求。本文对激光成像进行了研究，采用产生动态散斑图样的方法，设计了一种简单通过单片机控制光纤振动的系统，在光路上破坏激光的相干性，实现散斑的控制，且在实际应用获得有效数据，分析了振动频率对散斑控制的影响。

1 激光散斑控制原理

图1 激光显微成像系统原理图

2 散斑控制器的结构和原理

在整个激光散斑控制系统里，最核心的便是光路光线的有效可控振动。……