张元松，熊爱臣，谭 翠，樊 繁

（柳州华锡铟锡材料有限公司，广西柳州 545006）

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ITO靶材成形工艺的研究新进展

张元松，熊爱臣，谭 翠，樊 繁

（柳州华锡铟锡材料有限公司，广西柳州 545006）

ITO靶材是高端液晶显示器、太阳能电池、导电玻璃等领域的主要材料之一，而ITO靶材的成形技术是关键环节。综述了冷等静压成形、冲压成形、模压成形、爆炸成形、挤压成形、凝胶注模成形等技术特点及研究状况，并重点介绍注浆成形的技术特点和研究进展。

ITO靶材；成型技术；注浆成形

氧化铟锡（Indium Tin Oxide，简称ITO）靶材由于具有比较低的电阻率以及高的透光率的特性，目前应用于太阳能电池、导电玻璃和等离子显示器等领域，特别在液晶显示器（LCD）领域，应用非常广泛。随着LCD画面尺寸趋向大型化，高精密化、低电阻特性、高透光率均成为ITO发展的重点，这会对ITO靶材成形工艺带来巨大的挑战。因此，研究ITO靶材各种成形技术就变得至关重要。

ITO靶材成形技术的目的是为了获得内部均匀和密度较高的坯体，提高成形技术是提高ITO靶材产品质量的关键步骤。ITO靶材成形技术一般分为干法与湿法两种。干法成形本质上是一种模具压制的成形方法，易于实现自动化生产，而且在压力作用下批件的致密度很高，通常不需要进行干燥处理，ITO靶材的干法成形工艺主要有冷等静压成形、冲压成形、模压成形及爆炸成形等。湿法成形是采用溶液、固液混合物、气液混合物等原料进行反应，制备目标物质的过程。湿法工艺需要干燥处理，变形收缩较大，气孔较多，坯体致密度较低，但可以生产大尺寸及形状复杂的的靶材，通过合理的烧结工艺可以获得高稳定性、高均匀性及高密度的ITO靶材。……