李金平，史 鑫，王 晔，孙立凯，张 鹏

（中国电子科技集团公司第49所，哈尔滨 150001）

一种自主定向磁复合三维MEMS矢量水听器

李金平，史 鑫，王 晔，孙立凯，张 鹏

（中国电子科技集团公司第49所，哈尔滨 150001）

设计了一种自主定向的磁复合三维MEMS矢量水听器。该矢量水听器采用三维MEMS加速度传感器与磁传感器结构复合设计，并采用与信号处理电路紧靠方式，可减小噪声干扰及抑制信号衰减。通过磁复合三维MEMS矢量水听器解决单个矢量水听器定向精度不高问题。该矢量水听器完成了水下驻波场测试和无磁转台测试，测试结果验证了利用磁传感器补偿矢量水听器定向方法的可行性。

MEMS；矢量水听器；磁传感器；水声探测；定向精度

0 引 言

随着水听器技术的发展，利用矢量水听器获取水下声信息并进行水下目标的探测、定向方法，正逐渐成为海洋环境监视、探测及水下目标识别的一种有效手段［1，2］。1997年国内首次通过技术引进，系统地开展矢量水听器技术专题研究。1998年进行了国内首次矢量水听器外场试验，2000年进行了国内首次矢量水听器海上试验，效果良好，为矢量水听器的工程应用做出了重要贡献［3，4］。基于MEMS技术研制的矢量水听器正逐渐向微型化，集成化发展［2］。利用MEMS技术研制的单矢量水听器可以实现目标定向功能，但如何使单个矢量水听器能更好地为对空间目标进行定向是当前研究的重点和难点。

设计了一种自主定向及目标判别的磁复合三维MEMS矢量水听器……