郑胜清，张 强，杨 逸

（江苏省计量科学研究院，南京 210007）

单压法标准湿度发生器的设计及不确定度评定

郑胜清，张 强，杨 逸

（江苏省计量科学研究院，南京 210007）

标准湿度发生器在湿度量传的过程中起到重要的作用。我们设计开发的标准湿度发生器采用单压法原理，使用某单位自主研制的压缩空气干燥器、分流法湿度发生器产生的气源，通过温度、压力、饱和器系统的合理设计，能够发生（-70℃～+20℃）露点范围的湿气气源，量值范围宽，准确度高。经过冷镜式精密露点仪的验证，结果表明装置满足我国湿度一级标准的技术指标。按照不确定度评定方法评定了装置的不确定度。

湿度发生器；饱和器；湿度不确定度；单压法

概述

标准湿度发生器是在一定的温度、压力下产生具有一定湿度的气体，用来校准湿度测量仪器（又称湿度计）的装置。为了满足校准溯源性的需要，很多国家实验室已经建立了各种类型的湿度发生器。其原理主要包括：单压法、双温双压法、分流法、扩散渗透法等。其中，分流法湿度发生器受到流量测量的限制，主要用于中、高湿范围，渗透法湿度发生器也受到气源干燥性和流量控制准确度的影响。

单压法和双温双压法湿度发生器，主要靠改变气体的温度、压力，通过准确测量温度、压力量值，根据相关公式，如国际公认的SONNTAG饱和水蒸气压公式，来计算出气体中的水份含量。这样露点就可以溯源至温度及压力这些物理量。由于主要受温度和压力测量的影响，而温度和压力现阶段的测量技术已达到很高的准确度，因此多数情况下是采用单压法和双压法湿度发生器既作为湿度源，也作为标准器，对湿度测量仪器进行检定或校准。……