LED设备国产化推动LED产业加速发展

备，也都进入了大生产线，国产设备的高性价比赢得了越来越多LED生产企业的欢迎。如北京北方微电子生产的干法刻蚀机和沈阳芯源生产的匀胶显影设备在国内市场的占有率都已达到60%。

根据中国电子专用设备工业协会对国内7家LED设备制造商统计，2013年LED设备销售收入达到5.05亿元，出口交货值540万元。而今年1-6月已实现销售收入3.26亿元，出口交货值达到576万元。

目前国产LED生产线设备存在的主要问题是设备可靠性和智能化、自动化有待提高。

目前，我国中晟光电设备（上海）有限公司、中微半导体设备（上海）有限公司等企业已经成功攻克生产LED外延芯片的关键设备-MOCVD，并在2013年进入大生产线，实现了MOCVD销售6腔的业绩，向国产MOCVD产业化迈出了一大步，这不仅摆脱了长期依赖国外进口的被动局面，也降低了LED芯片制造的成本。

在LED上下游生产线设备中，还有蓝宝石晶体生长炉、多线切割机、研磨机、抛光机、清洗甩干机、匀胶显影设备、ITO溅射台、刻蚀机、PECVD、AIN PVD、激光划切机、点测机等国产设