修宏宇　冯少波　贺新洋

(1.中国计量科学研究院，北京 100013；2.广西壮族自治区计量检测研究院，南宁 530022)

0　引言

由于测量条件、测量环境的不同，在线pH测量差别很大。大多数情况下，在线pH测量常常以被测对象来进行分类，即纯水/加氨纯水的在线测量和常态水的在线测量。而纯水/加氨纯水和常态水是以水质的电导率值来划分的。以100μS/cm为界，纯水/加氨纯水的电导率低于100μS/cm，常态水的电导率高于100μS/cm。

在大多数微电子厂中会有五个地点经常用到在线pH测量和控制，分别是：反渗透预处理、冷却水应用、污水处理、洗涤水应用和回收水应用。每一个应用场所的在线pH测量都有其自身的特点。在反渗透预处理和冷却水应用的场所，在线pH计常用于监测纯水/加氨纯水；而在污水处理、洗涤水应用和回收水应用等场所，在线pH计监测的是常态水的pH值。本文即以此为出发点，探讨在线pH检测技术及量值溯源的途径。

1　纯水/加氨纯水的在线pH测量

纯水是指不含任何杂质的水，即溶液中除了分子H2O，不含有其它任何分子。加氨纯水是指在纯水中人为添加一定量的氢氧化氨、联胺或吗啉等物质，提高水质pH值，达到管路防腐的要求。表1来源于ASTM D5128-2009在线测量低电导率水pH值的标准试验方法，最后两列是纯水/加氨纯水在25℃的pH值和电导率值。25℃纯水的理论电导率为0.055μS/cm，pH值为7.00。添加了0.10mol/L的氨，也就是0.21mol/L的氢氧化铵后，水中pH值变为8.65，电导率为1.24μS/cm。随着加入氢氧化铵量的增加，pH值和电导率相应增大，当氢氧化铵加到4.11mol/L时，pH值为9.56，电导率为10.08μS/cm。……