赵 请，王玉春，李志顺

(南京三乐电子信息产业集团有限公司，南京211800)

行波管作为真空电子器件的主要类型之一，在武器系统中起到了重要作用［1］。近年来随着我国国防事业的迅猛发展，对行波管的需求量大幅增加，同时对器件性能的可靠性提出了更高的要求，为此我们对行波管的良品率进行了数据分析，分析结果显示，在现有工艺条件下批产阴极发射电流不稳定是影响批产器件良品率的关键因素之一。

阴极发射电流小与两个方面有关［2-3］:一是阴极本身的问题(即内因问题)，如阴极的发射能力、抗中毒能力、耐离子轰击能力、可靠性和一致性等;另一方面是阴极的使用问题(即外因问题)，它与电子枪的结构、管内工作环境、处理工艺等是密不可分的。本文结合某批产产品制备过程中出现的阴极发射电流不稳定的现象，从以上两方面进行分析，寻找合适的方法提高阴极性能的稳定性，保证器件的可靠性。

1 阴极本身的发射能力

在阴极的制备过程中，除了钨海绵基体孔度的大小、孔分布均匀性以及铝酸盐的发射水平等因素影响阴极本身的发射水平外［4-7］，由于阴极现有的制造过程还不能全部达到程序化控制，会造成阴极的发射随着生产批次有所波动。为了保证提供给管种使用的阴极能够达到发射性能的要求，本文使用简易二极管对批产阴极进行在线的抽样性能检测:通过测不同温度下的二极管伏安特性［8］，求出相应的阴极拐点发射电流密度Ja，建立抽样检验标准，借助抽样检测手段来保证阴极在管子上使用的一致性。……