王 飞，谢永杰，戢运峰，段刘华，叶锡生

(西北核技术研究所激光与物质相互作用国家重点实验室，陕西西安710024)

1 引言

高能激光束在国防及工业加工等领域具有重要作用［1］，近些年在国内外得到了快速发展。准确测量激光束光强分布对于检验和调试激光器状态十分重要［2］，同时对于研究和探索激光束与不同物质材料、功能器件、生物体等的相互作用物理过程也具有重要的意义。

自激光器发明以来的几十年中，激光光强分布测量的方法和技术得到很大提高，研制出许多测量仪器和装置。但由于高能激光具有输出总能量高、远场光斑面积大、辐照烧蚀破坏力强的特点，其远场大面积光束的准确测量存在较大的技术难度。目前，远场高能激光束光强分布的测量方法主要可分为光电测量法和量热测量法两大类。光电测量法具有响应灵敏、时间分辨力高等优点［3］，但受到衰减取样环节和标定条件的限制，在能量测量中具有较大的不确定度;量热测量法具有耐受辐照能量高、能量测量不确定度小等优点［4］，但在时间分辨测量上却存在一定难度。本文提出了量热光电复合阵列，采用量热与光电复合技术来测量大面积激光束光强分布，通过充分利用量热法和光电法的优势实现了大面积光束光强时空分布的测量。

2 复合阵列的组成

量热光电复合阵列由阵列面板、数据采集模块和数据分析处理模块3个部分组成。

阵列面板包括底板、量热探测单元阵列和光电探测单元阵列3个部分，如图1所示。……