赵丽丽 张智翔 高永进 翟春雪 何崇斌

西北大学信息科学与技术学院，陕西 西安 710127

锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响

赵丽丽 张智翔 高永进 翟春雪 何崇斌

西北大学信息科学与技术学院，陕西 西安 710127

采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜，研究了薄膜的介电行为。性能测试表明，在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中，介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5，此时介电系数最大介电损耗最小；膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系，随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。

溶胶-凝胶法；钛酸锶钡薄膜；介电性能；锶钡比

引言

材料的组分决定了材料的性能，钛酸锶钡薄膜是一种环境友好的、钛酸锶和钛酸钡全范围的固溶体，由于其锶钡比可调而具有优秀的微波介电可调性而得到广泛关注。目前关于其研究主要涉及：一、采取各种办法制备高择优取向薄膜，根据晶体的介电各向异性来提高膜介电性能[1-2]；二、掺杂及其对介电性能的改进[3-4]；三、结构、缺陷的研究[5-6]等等。

笔者从锶钡比的选择着手制备了不同锶钡比的钛酸锶钡薄膜，考察了锶钡比对膜介电性能的影响和膜厚对钛酸锶钡介电性能的影响。

1 实验部分

按（锶+钡）：钛＝1：1（物质的量比）的比例，称取醋酸锶和醋酸钡（Sr/Ba值分别为：0.1:0.9、0.2:0.8、0.3:0.7、0.4:0.6、0.5:0.5和0.6:0.4），溶于适量的冰醋酸和乙二醇甲醚混合溶液中，搅拌30分钟，加入几滴乙酰丙酮，继续搅拌30分钟。然后将混合溶液倒入等摩尔的钛酸丁酯中，再搅拌45分钟，得到浅黄色清澈透明的溶胶。……