刘爱莉，范锦彪，张茹开，王永芳

(中北大学电子测试技术国家重点实验室，仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原 030051)

高g值加速度计作为一次仪表，已广泛应用于民用、军事和航空航天领域等各种冲击过程中过载的测量，特别是兵器科学技术中侵彻与反侵彻过程的研究、靶板目标特性的研究等。如一些“智能型”弹药系统的研发过程中，弹体侵彻加速度时间历程曲线的精确测取关系到战斗部中炸药的安定性、弹体强度设计、引信的正确动作、“智能型”的钻地弹药的定深起爆、预设层数起爆；弹体侵彻的虚拟测试中，需要精确的实测加速度数据提供初始、边界条件和校验的依据；防护工程中，需要精确的实弹侵彻加速度测试曲线来评价遮弹层的效果。这就要求在实际的应用中传感器不仅要能准确测量出系统状态信号幅值的大小，而且要能正确再现出信号的波形，复现被测量值随时间变化的规律，即传感器必须具有良好的动态响应特性［1－5］。

由于压电加速度传感器存在较大的“零漂”，因此在实际测量中多采用压阻加速度传感器。对于高g值压阻加速度计，当其几何参数一定时，响应特性直接受到内部阻尼参数的影响，特别是对固有频率较低的传感器来说，阻尼参数的调整更是直接决定了传感器安全工作的频率范围以及传感器的动态精度。目前关于较低量程MEMS压阻式加速度计阻尼的分析与设计、阻尼对传感器幅频特性的影响方面的研究已有很多，然而有关高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系方面的问题还有待进一步的研究。……