付耀斌，李书恒

(北京慧摩森电子系统技术有限公司，北京 100083)

1 MicroE圆光栅简介

MicroE圆光栅尺是具有20μm栅距（见图1），多种外形尺寸，最小直径为12mm,最大直径可达121mm,体积轻薄的一种高精度、高性价比的光栅尺产品。结合Mecurry系列高性能编码器可以解决客户各方面的应用需求（见图2）；因其具有体积小巧、安装方便、多种Mecurry读数头可互换的特性，客户可以灵活多变的进行产品设计。同时MicroE还可以根据客户需求提供定制要求的产品。

图1 圆光栅

图2 编码器

MicroE圆光栅尺是运用光刻技术在热膨胀系数接近于零的玻璃基材上加工而成，具有很高的刻划精度。MicroE提供外形尺寸从12mm到108mm系列标准产品及客户特殊需求尺寸产品；同时所有光栅尺上都具有零位标志。

2 MicroE圆光栅光学测量工作原理

MicroE圆光栅产品采用了PurePrecision光学结构（见图3），拥有多项专利技术。该项技术保证MicroE编码器周期高倍差补细分情况下信号的高强度和准确性，使其细分倍数可以达到16384；而且测量范围大，对安装调整公差要求很宽松；实现了编码器读数头的微型化。

图3 PurePrecisionTM光学技术

◆保证高倍差补细分情况下的高强度、精密信号

◆测量范围大、安装调整公差宽松

◆微型编码器读数头

◆多项专利技术

3 MicroE圆光栅的特性

◆外形轻薄，最大厚度只有2.67mm，质量轻——低惯量

◆系统占用空间小，装配好的编码器读数头和圆光栅的总高度不超过13.5mm——省空间

◆提供带安装轮毂的圆光栅结合MicroE编码器宽泛的安装误差范围——便于安装

配合不同的差值编码器可达到从6600到67.1M CPR的分辨率——高分辨率