周 畅，李喜峰

(1.上海微电子装备有限公司，上海 201203；2.上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室，上海 201900)

AMOLED(Active matrix organic light-emitting diode)具有自发光、更薄更轻、无视角问题、高清晰、高亮度、响应快速、能耗低、使用温度范围广、抗震能力强、成本低的优点，有可能成为取代TFT-LCD的下一代显示技术。目前日本、韩国、中国台湾已有小尺寸面板的小批量生产，手机是其最大应用领域。在世界范围内大尺寸面板处于研发阶段，但这是显示技术和产品将来发展的主要方向。目前在国家和地方支持下，现已有不少单位投入研发，力争在AMOLED产品这个新领域中缩小与国际先进水平的差距。AMOLED技术尚处于产业化启动阶段，产品的市场竞争环境尚未形成。从出货量来看PMOLED(Passive matrix OLED)一直是市场上的主角，但销售收入从2008年开始，PMOLED就不再占主导地位。由于AMOLED在手机、PDA和便携式媒体播放器中应用的强劲势头，2011年AMOLED出货量已超过PMOLED。未来AMOLED将是带动OLED显示屏快速成长的主要力量，这说明未来OLED的市场在AMOLED，加紧AMOLED的相关研发，形成整体配套技术非常关键。

目前200mm×200mm玻璃基板尺寸的OLED研发线能够较经济地进行OLED器件相关技术开发验证，并能够与产线技术兼容。AMOLED工艺的TFT技术与传统LCD工艺的TFT技术区别很大，它需要更复杂的驱动电路、更高的曝光分辨率及套刻精度。此外，显示PPI越来越高，这进一步要求光刻分辨率的提高。目前市场上还没有能满足200mm×200mm玻璃基板尺寸高分辨率曝光设备供应，只能暂时用接近接触式Aligner曝光机（即没有真正光学成像系统，分辨率较低，套刻精度较差）替代应急。……