杜渐

(上海图书馆科技情报研究所，上海 200031)

设备业是半导体产业发展的基础和支撑，在半导体产业发达的国家均把设备业作为重要的战略产业积极加以扶持。从20世纪80年代末开始，韩国就一直在努力打造本国的半导体设备产业，借助于政府、大型半导体企业的大力支持，韩国半导体设备逐渐取得质的飞跃。尽管目前韩国国内半导体设备业总体规模还不大，多数设备产品销售还是主要依赖国内市场，但在一些设备领域韩国企业技术水平已经接近国际领先水平，如PSK的光阻去除设备，可以最大产出率达到440片/min，接近Novellus和Mattson设备性能。本文希望通过韩国半导体设备也发展策略，对国内的设备产业发展提供有益借鉴。

1 发挥产业集团的作用，积极推动半导体生产企业设备采购本地化

韩国是2010年全球半导体设备的第四大市场，其设备市场规模约占全球半导体设备市场的17%。2011年，韩国最大两家集成电路制造企业三星电子和海力士的设备投资预算分别为96亿美元、30亿美元，排在全球第一和第四位。韩国的半导体设备与制造企业之间有着很深的渊源，有相当数量的设备企业早年是从韩国国内半导体企业或其企业集团中分离出来的（如：韩国领先的OLED设备企业SFA是由三星宇航工业旗下的自动化部门分拆出的），并且双方在技术研发等方面有着长期、密切的联系。近年来，三星电子、海力士为了降低设备、零部件及材料等的对外依存度，获得稳定的后备供应来源（Second Source），均在强化设备采购本地化战略，通过股权投资、合作开发或产品采购等多种方式支持、培育国内设备企业发展。……