邵慧彬，宋占锋

(张家口职业技术学院，河北张家口050016)

1 微机电(MEMS)系统简介

微机电系统(MEMS)，是指可批量制作的微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、集通信和电源于一体的微型器件或系统，它是随着半导体集成电路的微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而诞生的新技术领域。MEMS具有微型化、批量生产成本低、集成化程度高和多学科交叉等特点，可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。

2 微机电系统的发展历程

微机电系统的概念于1959年由美国科学家Richard P Feynman提出。1988年，世界上第一个硅微型静电电机诞生在美国加州大学伯克利分校，该电机直径仅为(60～120)μm，为世人瞩目，由此产生了世界微机电系统技术研究的一个阶段性标准。1989年，NSF(National Science Foundation)在研讨会的总结报告中提出“微电子技术应用于电子、机械系统”。自此，MEMS成为一个新的学术用语。在过去20多年中，微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段，并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域，已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。2006年，全世界的MEMS产值已达约60亿美元，年增长率为14%，预料到2010年将成长为97亿美元的市场。由于微机电系统在医疗、生物、精密仪器、环境保护、航空航天、通讯、国防军工等领域有十分广阔的应用前景，它的推广使用势必带来空前的产业革命，可望成为下世纪初的支柱产业。……